Ионно-сорбционная откачка

    Дисциплина: Химия и физика
    Тип работы: Реферат
    Тема: Ионно-сорбционная откачка

    Ионно-сорбционная откачка .

    При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа : внедрение ионов в объем твердого тела под действием

    электрического поля и химическое взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками активных металлов .

    твердое тело , проникают в него на глубину , достаточную

    для их растворения .Этот способ удаления газа является разновидностью ионной откачки . На рис. 1 показано равновесное распределение концентрации при ионной откачке в объеме

    неограниченной пластины толщиной

    , рассоложенной внутри вакуумной камеры .

    Максимальную удельную геометрическую быстроту ионной откачки можно рассчитать по формуле

    (1) , где

    – молекулярная концентрация газа .

    Коэффициент внедрения учитывает частичное отражение и рассеивание , возникающее при ионной бомбардировке . Коэффициент

    внедрения сильно зависит от температуры тела и слабо – от плотности тока и ускоряющего напряжения . Значение

    наблюдается для Ti , Zn при 300 … 500 К .

    Максимальное значение концентрации растворенного газа при ионной откачке можно определить из условия равновесия газовых потоков

    (2) ( D – коэффициент диффузии газа в твердом теле ) . Градиенты концентраций определяются следующими

    отношениями :

    здесь

    – глубина внедрения ионов (

    поглощенного газа .

    Так как величина

    мала по сравнению с

    ( константа

    /кВ ) , то величиной

    Отсюда следует выражение для максимальной концентрации растворенного газа :

    Если величина

    блистер-эффекта .

    В нержавеющей стали водородный блистер-эффект наблюдается при поглощение

    3*Па/см

    2 , что соответствует при быстроте откачки

    3/(с*см

    2) и давление

    По известному значению

    можно подсчитать общее количество газа , которое будет поглощено единицей поверхности

    Во время ионной бомбардировки наблюдается распыление материала , сопровождающееся нанесением тонких пленок на электроды и

    корпус насоса . Сорбционная активность этих пленок используется для хемосорбционной откачки .

    Распыление активного материала может осуществляться независимо от процесса откачки , например с помощью регулирования

    температуры нагревателя . Расход активного материала в таких насосах осуществляется независимо от потока откачиваемого газа .

    Более экономно расходуется активный металл в насосах с саморегулированием распыления . В этих насосах распыление производится

    ионами откачиваемого газа , бомбардирующими катод , изготовленный из активного материала . Распыляемый материал осаждается на корпус и анод , где осуществляется хемосорбционная откачка

    Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами .

    Оглавление

    TOC o "1-1" Ионно-сорбционная откачка ....................................... PAGEREF _Toc9692035 h 1

    Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами ............................ PAGEREF _Toc9692036 h 3

    Оглавление................................................................................ PAGEREF _Toc9692037 h 4

    Используемая литература :............................................ PAGEREF _Toc9692038 h 5

    Используемая литература :

    Л.Н. Розанов . Вакуумная техника .

    Москва « Высшая школа » 1990 .

    { Slava KPSS }

    Язык: Русский

    Скачиваний: 91

    Формат: Microsoft Word

    Размер файла: 21 Кб

    Автор:

    Скачать работу...

    Забрать файл

    Похожие материалы:


    Добавить комментарий
    Старайтесь излагать свои мысли грамотно и лаконично

    Введите код:
    Включите эту картинку для отображения кода безопасности
    обновить, если не виден код



ПИШЕМ УНИКАЛЬНЫЕ РАБОТЫ
Заказывайте напрямую у исполнителя!


© 2006-2016 Все права защищены